Поделиться
В России созданы роботы с ИИ, способные проверять качество выпускаемых чипов
Роботы-инспекторы с ИИ, способные выявлять мельчайшие дефекты чипов лучше японских и корейских аналогов, созданы на основе отечественных разработок и уже проходят опытную эксплуатацию на российских предприятиях.
Российская разработка
В России создали семейство роботов-инспекторов с искусственным интеллектом для выявления дефектов при изготовлении микросхем, например, трещин, непропечатанных фрагментов, обрывов дорожек и др., что позволяет обнаруживать уязвимости в технологическом процессе, устранять их и снижать себестоимость продукции, пишут «Известия».
Размеры тестируемых изделий могут составлять от 0,1 мм до 300 мм. Максимальное разрешение камеры — до трех микрон, а скорость проверки достигает одного кв. см в секунду, отметил один из разработчиков системы, старший инженер АО «ЦКБ «Дейтон» (входит в ГК «Элемент») Вячеслав Малышев.
Софт для робототехнического комплекса создан на основе отечественных запатентованных разработок. Нейронные сети обучены более чем на шести тыс. изображений. Возможности машинного обучения позволяют адаптировать оборудование под новые типы устройств и меняющиеся нормативные требования.
Разработка проходит этап опытной эксплуатации в составе производственных линий на ряде отечественных предприятий. Как сказал Малышев, по отзывам специалистов, российский комплекс по своему функционалу превосходит аналоги от мировых лидеров — японской MEK Marantz Electronics, южнокорейской Koh Young Technology и китайской Jutze Intelligence Technology Co.
Как осуществляется контроль
Устройства исследуют микросхемы на разных этапах производства. С помощью алгоритмов машинного зрения каждый электронный компонент проверяется на соответствие стандартам, а результаты анализируются и выводятся на монитор, рассказал Малышев.
Робототехнический комплекс состоит из линейки приборов, первый тип которых сканирует чипы, уложенные на палету. Манипулятор перемещается последовательно, позволяя сенсорам подробно изучить каждое изделие.
Второй тип приборов осуществляет контроль кремниевых пластин. Они имеют форму диска, поэтому сканирующее устройство робота движется по кругу. Аппарат может изменять угол обзора, что важно для выявления микротрещин, неравномерного травления или загрязнений на отполированной зеркальной поверхности пластин.
Самые совершенные из представленной линейки, отметил Малышев, — это конвейерные установки, где проверка чипов организована по принципу непрерывного потока. В такой системе робототехнический комплекс сразу сортирует изделия по категориям — годные остаются на ленте, дефектные отправляются на доработку, а бракованные изымаются из производства.
ИИ лучше человеческого зрения
Контроль качества — ключевой процесс при изготовлении изделий микроэлектроники. «При контроле качества электроники возможности человеческого зрения ограничены, когда речь идет о размерах устройств в несколько микрон», — пояснил Малышев.
Машинное зрение предоставляет лучшую статистику выявления дефектов по сравнению с визуальным контролем человека, а роботизация этих процессов обеспечит повторяемую точность результатов, прокомментировал доцент кафедры прикладной механики Политехнического института Сибирского федерального университета Алексей Сочнев.
О том, что Центральное конструкторское бюро «Дейтон» разрабатывает систему автоматизированного оптического выявления дефектов изделий микроэлектроники, CNews писал в октябре 2024 г.
В марте 2025 г. представители Томского государственного университета (ТГУ) сообщили, что разработали математическую модель и ПО для оценки качества радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) по снимкам цифрового рентгеновского 3D-микротомографа. «Радар ммс» тоже занимается созданием софта на основе искусственных нейронных сетей для визуального контроля дефектов радиоэлектронных изделий. Предсерийные образцы планируют разработать до конца 2026 г., а с 2027 г. начать их массовое внедрение.
Короткая ссылка
