Поделиться
Власти заказали проверку госсубсидий на создание российского литографа
Минпромторг отдаст 300 млн руб. за проверку хода работ создания материалов и оборудования для производства микроэлектроники. Работы будут проводиться два года.
Минпромторг проверит ОКР
Как выяснил CNews, Минпромторг проверит эффективность выданных госсубсидий предприятиям, которые в том числе создают оборудование для производства микроэлектроники. На эти цели министерство выделило 300 млн руб., следует из портала госзакупок.
Тендер на работы был опубликован 29 января 2025 г. Исполнитель будет определен 18 февраля.
В рамках работ будет проведен анализ фактических затрат на выполнение опытно-конструкторских (ОКР). А также будут устроены выездные проверки для оценки достижения результатов предоставления субсидии и характеристик, а также целей, условий и порядка предоставления субсидии.
ОКР по госпрограмме «электронное машиностроение» предполагает, в том числе, создание литографического оборудования, установки для эпитаксии (наращивание кристаллов), производства пластин и фотошаблонов, корпусирования и т.д. Все они необходимы для создания российских чипов.
Работы по проверке ОКР будут выполняться до 15 декабря 2026 г.
CNews направил запрос в Минпромторг и ожидает ответа.
План развития электронного машиностроения
Программа развития электронного машиностроения предусматривает импортозамещение около 70% оборудования и материалов для производства микроэлектроники к 2030 г. Для этого в России будет запущено 110 ОКР. Это следует из презентации проекта руководителя департамента электронного машиностроения международного научно-технологического центра (МНТЦ) МИЭТ Якова Петренко.
Документ разработан Минпромторгом и МНТЦ МИЭТ. Он содержит четыре направления: технологическое оборудование, материалы и химические вещества, системы автоматизированного проектирования (САПР). Минпромторг также завершает работу над созданием отдельной программы по локализации производства критических компонентов технологического оборудования.
По данным Минпромторга, на программу предусмотрено бюджетное финансирование в размере более 240 млрд руб. до 2030 г. В реализации программы задействовано более 50 организаций. Уже сейчас начата 41 ОКР, в 2024 г. будет запущено еще 26, а в 2025–2026 гг. — еще 43.
В России используется не менее 400 моделей оборудования для производства микроэлектроники и только около 12% из них «в лучшем случае» можно было произвести на территории России, отмечал Петренко.
В рамках программы развития электронного машиностроения планируется разработать отечественное оборудование для производства 20 технологических маршрутов, включая микроэлектронику (от 180 до 28 нм), СВЧ-электронику, фотонику, силовую электронику, производство фотошаблонов и сборку электронно-компонентной базы и модулей, производство пассивной электроники и т. д.
К 2026 г. должна быть также освоена эпитаксия — процесс, при котором на одной подложке выращивается несколько слоев полупроводниковых материалов.
Всего будет создано 15 типов контрольно-измерительного оборудования, 13 типов плазмохимических установок, 10 установок для литографии, девять для корпусирования, по восемь типов для производства фотошаблонов и эпитаксии, семь для производства пластин и т. д.
Электронное машиностроение в России
Работа по созданию своего оборудования очень важна, так как с марта 2022 г. закупка и ввоз в Россию оборудования для производства микроэлектроники осложнился, а цена выросла. В марте 2024 г., как писала Financial Times, поставщики такого оборудования, Samsung и SK Hynix, опасаясь параллельного импорта, прекратили поставки даже подержанного оборудования в КНР.
Помимо этого, проводится и работа по освоению необходимых материалов. Как писал CNews в марте 2023 г., Минпромторг выделил более двух миллиардов на освоение в России производства материалов, необходимых для производства чипов.
Сейчас масштабными проектами по производству оборудования занимается группа «Элемент». CNews писал в марте, ООО «Нанотроника», на 100% принадлежащая группе «Элемент», планирует начать разработку и выпуск линейки оборудования для производства радио-, СВЧ- и микроэлектроники. ГК «Элемент» уже вложила в проект несколько миллиардов рублей.
Короткая ссылка
