Поделиться
В России создают редкое оборудование для производства микроэлектроники на замену китайскому
Минпромторг заказал разработку установки для отмывки и сушки специальных контейнеров для хранения кремниевых пластин. На его разработку выделено почти полмиллиарда. Сейчас такое оборудование закупается в Китае.
Контейнеры для кремния
Как выяснил CNews, Минпромторг заказал создание установки для отмывки и сушки SMIF-контейнеров для кремниевых пластин. На эти работы выделено 476,8 млн руб., следует из портала госзакупок.
Контейнеры SMIF позволяют хранить и перемещать наборы полупроводниковых пластин между установками, сохраняя повышенную чистоту.
Установка предназначена для групповой обработки SMIF-контейнеров и кассет для пластин диаметром 150 мм и 200 мм. Созданием ее займется Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики. На работы отведено два с половиной года.
Повышенный уровень чистоты
«Важность этой установки состоит в том, что SMIF-контейнер в производственном цикле позволяет обеспечивать повышенный уровень чистоты при переносе пластин в производственном цикле, - рассказал CNews представитель Минпромторга. - Применение таких контейнеров значительно снижает привносимую дефектность и, как следствие, повышает выход годных. Из-за таких требований к чистоте требуется отдельная установка для отмывки контейнеров от загрязнений».
Как пояснили CNews в министерстве, пользователями таких установок, являются, прежде всего, «Микрон», «Исток им. Шокина», НИИС им. Седакова, НЗПП «Восток». «Спрос на эти установки мы оцениваем не менее 10 единиц в перспективе 2030 года», - заключили в Минпромторге.
Комплектующие изделия и материалы для установки должны быть отечественного производства.
Как пояснил собеседник CNews на рынке микроэлектроники, обычно оборудование для установки и сушки закупают в Китае. «Ориентировочно для России нужны десятки единиц такого оборудования», - отметил он. Такие установки, например, производит китайская компания HEYAN.
Освоение микроэлектроники
После введения санкций в отношении России в 2022 г., страна начала активную работу по освоению оборудования для микроэлектроники. Например, в конце августа 2024 г. CNews писал, что в России создадут стандарты для производителей электронного машиностроения. Помимо этого, идет и работа по созданию дизайна разрабатываемого в стране оборудования.
Сейчас масштабными проектами по производству оборудования занимается группа «Элемент». CNews писал в марте, ООО «Нанотроника», на 100% принадлежащая группе «Элемент», планирует начать разработку и выпуск линейки оборудования для производства радио-, СВЧ- и микроэлектроники. ГК «Элемент» уже вложила в проект несколько миллиардов рублей.
Также в России будет создан новый дизайн-центр метрологического обеспечения, оценки соответствия и стандартизации радиоэлектронного оборудования и сверхвысокочастотной микроэлектроники.
Короткая ссылка
